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科学研究

主要研究方向
    微纳加工技术
    微纳传感器与执行器
    微纳系统集成技术

 

研究成果

    “硅基MEMS技术及应用研究”获2006年度国家技术发明二等奖。
    近5年来,在JMEMS、JMM、APL、IEEE MEMS、Transducers等本领域高水平期刊和会议上发表论文300余篇。获得授权专利40余项。

    专利申请情况
    论文发表情况

 

相关资料   
    北京大学微电子研究院工艺信息库
    北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室工艺文档
    IMEE CAD系统    IMEE CAD 系统下载(63M) (Free)


附:MEMS简介



Phone: 86-10-62752536 Fax: 86-10-62751789
The Microelectromechanical System (MEMS) Research Center
Department of Microelectronics, Peking University
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