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序号

项目来源

项目名称

项目开始年月

项目结束年月

1

国家973计划

异构通道电信息传输的电磁耦合效应与高保真传输

2015

2019

2

国家973计划

超灵敏微纳生物化学传感器集成自治系统基础研究

2015

2019

3

国家973计划

MEMS电容式器件规模制造技术基础研究

2011

2012

4

国家973计划

面向16纳米及以下技术代的工艺、器件与电路建模和模拟

2011

2015

5

国家973计划

纳米尺度新结构器件的可靠性基础问题研究

2011

2015

6

国家973计划

适于16纳米及以下技术代的新型器件研究

2011

2015

7

国家863计划

新结构器件技术

2015

2017

8

国家863计划

面向物联网应用的无线自供能多参数微纳传感器系统

2013

2015

9

国家863计划

工业控制高精度压力传感器实用化技术研究

2012

2015

10

国家863计划

油气田监测高性能微传感器及数字化系统

2011

2014

11

国家863计划

RRAM存储单元的设计和优化

2010

2015

12

国家863计划

RRAM存储阵列的设计和优化

2010

2015

13

国家科技重大专项

硅基GaN功率开关器件研制

2013

2015

14

国家科技重大专项

65-45nm器件制作离子注入关键工艺研究与验证

2011

2014

15

国家科技重大专项

集成化表面牺牲层标准工艺关键技术及相关拓展技术研究

2011

2013

16

国家科技重大专项

晶圆级石墨烯材料的制备和测试

2011

2014

17

国家科技重大专项

器件物理与器件模型模拟

2011

2014

18

国家科技重大专项

新原理器件与集成技术研究

2011

2014

19

国家科技重大专项

晶圆级石墨烯电子材料与器件研究

2010

2015

20

国家重大研发计划

纳米分辨力光电成像器件物理机制和器件模型

2016

2021

21

国家重点研发计划

外场诱导下纳米结构电子过程原位测量研究

2016

2020

22

国家自然科学基金

基于化合物半导体材料的新型器件模型模拟研究

2017

2020

23

国家自然科学基金

智能贴片式健康监控自驱动微系统的理论与应用研究

2017

2020

24

国家自然科学基金

面向大数据分析的自学习网络关键技术研究

2017

2020

25

国家自然科学基金

基于混合控制机理的新型隧穿场效应晶体管器件研究

2017

2019

26

国家自然科学基金

集成THz探测器及其近场成像方法研究

2016

2019

27

国家自然科学基金

超低功耗柔性聚合物RRAM

2016

2019

28

国家自然科学基金

基于硅基平台的绝缘层上高迁移率沟道CMOS器件及其可靠性研究

2016

2020

29

国家自然科学基金

Q值闭环电容式MEMS加速度计高精度数字化读出技术研究

2015

2018

30

国家自然科学基金

基于65纳米以下工艺节点的抗辐照集成电路基础研究

2015

2019

31

国家自然科学基金

基于Scallop效应所制备三维镂空纳米阵列结构的LSP-SPP耦合免疫传感原理及器件研究

2015

2018

32

国家自然科学基金

基于分布式∑/△与扩展量化的红外焦平面阵列像素级/列级混合式模数转换方法研究

2015

2018

33

国家自然科学基金

基于纳米颗粒过孔电动力学检测的数字式滚环扩增反应芯片基础研究

2015

2018

34

国家自然科学基金

具有低能耗和多阻态的金属氧化物电子突触器件的研究

2015

2017

35

国家自然科学基金

面向同质三维集成应用的硅纳米线器件技术研究

2015

2018

36

国家自然科学基金

纳米尺度集成电路新器件与新工艺研究

2015

2020

37

国家自然科学基金

纳米尺度器件中的电热耦合分析及模拟研究

2015

2017

38

国家自然科学基金

肖特基源漏垂直沟道环栅硅纳米线场效应晶体管及衍生器件研究

2015

2018

39

国家自然科学基金

新型微型硅曲面壳形陀螺谐振结构的基础理论研究

2015

2019

40

国家自然科学基金

高计数率多通道核辐射探测器读出芯片研究

2014

2016

41

国家自然科学基金

基于二硫化钼的新型半导体器件中无序效应对载流子输运的影响的研究

2014

2016

42

国家自然科学基金

基于光电效应的动态可控声镊器件基础研究及其在微/纳流控领域的开发应用

2014

2017

43

国家自然科学基金

基于可变势垒的新型自整流超低功耗阻变存储器及其机理研究

2014

2017

44

国家自然科学基金

基于阈值精细控制技术的超低功耗高性能FinFET电路设计方法研究

2014

2016

45

国家自然科学基金

跨尺度纳米批量制造原理与方法

2014

2017

46

国家自然科学基金

下一代高速低功耗数据收发器系统架构研究

2014

2017

47

国家自然科学基金

氧化物电阻存储器多值存储的可靠性及失效机理研究

2014

2017

48

国家自然科学基金

AMOLED用氧化锌基TFT及像素单元驱动电路制备研究

2013

2016

49

国家自然科学基金

硅基GaN功率开关器件阻断特性的研究

2013

2015

50

国家自然科学基金

基于MEMS技术的THZ焦平面陈列及其宽带成像的理论和方法研究

2013

2016

51

国家自然科学基金

基于电解液-氧化物-半导体(EOS)结构单向导电特性的微纳流控器件基础研究

2013

2016

52

国家自然科学基金

具有非紧间断势的Wigner输运方程的数值模拟

2013

2015

53

国家自然科学基金

基于氧等离子体去胶引入微/纳材料的纳米森林制造技术及器件应用基础研究

2012

2015

54

国家自然科学基金

集成流式电穿孔芯片基础研究

2012

2015

55

国家自然科学基金

芯片硬件木马安全检测方法研究

2012

2015

56

国家自然科学基金

高分辨率、高帧频MEMS非制冷红外探测器研究

2011

2014

57

国家自然科学基金

基于微加工技术的微纳集成制造原理及方法研究

2011

2014

58

国家自然科学基金

硅基纳米尺度新结构器件

2010

2013