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微电子学研究院测试实验室

实验室网站链接:http://www.ime.pku.edu.cn/testlab

北京大学微电子学研究院测试实验室是北京大学微电子学研究院所属的实验室,也是微米/纳米加工技术国家级重点实验室的重要组成部分,是国内大学校园里一流的微电子测试实验平台。

实验室在微电子学研究所成立时分散在各研究室。2012年随着新落成的北大微纳电子大厦投入使用,测试实验室正式成立。测试实验室的成立将以前分散在各研究室的测试仪器设备集中起来统一管理,有利于仪器设备的综合利用和共享。

目前测试实验室主体位于微纳电子大厦内,三层两个实验室共计200平米,四层一个实验室约90平米,地下二层六个实验室共计约280平米,总计570平米。还有两个实验室位于理科2号楼内。测试实验室全年都可为全院师生和校内外用户提供微电子相关的多种测试服务。

实验室

主要测试项目

测试实验室1

微电子器件I-VC-V参数测试,温度特性测试,高压器件测试,真空测试,器件自动测试

测试实验室2

微电子器件I-V参数测试,温度特性测试,IC功能及参数测试

射频测试实验室()

器件低温(10K)特性测试

MEMS测试实验室1

加速度计测试,高低温箱老化,惯性、压力器件装配

MEMS测试实验室2

MEMS器件温度冲击

MEMS测试实验室3

研磨抛光,MEMS光学平台

MEMS测试实验室4

陀螺测试转台,陀螺调试系统,小超净环境封装测试

MEMS测试实验室5

MEMS器件振动冲击

MEMS测试实验室6

生物MEMS器件、化学MEMS器件实验测试

MPW测试实验室

MPW器件和电路参数提取

射频测试实验室()

射频和微波器件测试

测试实验室拥有各种仪器设备200多台套,包括微电子学研究院除工艺实验室之外的所有科研测试仪器设备,价值2000多万元。实验室拥有完备的微电子器件和IC的测试能力,主要仪器设备有:

针台+器件参数分析仪器

SUMMIT高低温探针台+Agilent4156C+Agilen4294A+Agilent B1500A

MM6000屏蔽温控探针台+ HP4156B+Keithley 4200

CPX-VF低温探针台 (10K)+Agilent B1500A

PM8屏蔽探针台+HP4145B

PM8屏蔽温控探针台+HP4192A+HP4142B+Keithley 2410+Keithley 2430

RF1微波探针平台

Summit11000BM探针台+Agilent B1500A

TZ-603B自动探针台

电子器件真空测试系统+HP4156B+HP41501B

真空测试台

ST-103A手动探针台

GP1A电磁屏蔽室

ATE(IC测试系统)

安捷伦 93000 SOC测试系统

泰瑞达UltraFlex SOC测试系统

Chroma 3110测试分类机(-40~135℃)

器件环境控制设备

TP04310冷热冲击机

ESL-02KA高低温试验箱

CEEC-GDW-30台式高低温试验箱

PH050台式烘箱

ZID-1台式烘箱

202-OAB电热恒温干燥箱

MT3065高低温试验箱

Es-2电动振动实验台

Es-025s标准振动台

TP0315B-1-60控温仪

长城温控单轴速率位置转台

Y5340/2F恒加速度试验机

通用台式仪器

HP83711A正弦波发生器

HP8133A脉冲信号发生器

安捷伦 8417 ET网络分析仪

AV3629网络分析仪

bode 100矢量网络分析仪

安捷伦MSO9404A示波器

HP54120B数字示波器

泰克TDS3052示波器

TDS3012B数字荧光示波器

TDS1002示波器

SINOCERA YE5871功率放大器

AFG310函数信号发生器

普源DG1022函数信号发生器

GFG-8210函数信号发生器

33250A函数/任意波形发生器

HT-1723B直流稳压稳流电源

GPD-2303S 可编程线性直流电源

PSM-3004可编程直流电源

GPC3030DN直流稳压电源

QT-2晶体管图示仪

SR785双通道动态信号分析仪

3458A数据多用表

U1272A万用表

34401A安捷伦34401A多用表

35670A安捷伦动态信号分析仪

PXI1033动态信号分析仪

MAURY自动阻抗测量系统

85190AICCAP建模系统

E4440A 频谱分析仪

N8975噪声系数分析仪

DPO4032数字荧光示波器

SR570底噪声电流前置放大器5K1731电源

RIGOL DS5102CA示波器

TDS2014B示波器

VA307DDS采集器

VA307采集器

34970-34901数字万用表

显微镜

OPTON金相显微镜

MeF3高性能金相显微镜

L-IM干涉型测量显微镜

XTZ-DT三目体视显微镜

MX51金相显微镜

MX51M金相显微镜

MEMS器件专用设备和封装设备

DPI 610PC压力校验仪

DYD100/5双机双空间电子万能试验机

P-721纳米扫描定位器

UNIPOL-1202型精密研磨抛光机

UNIPOL-802型精密研磨抛光机

SKZD-2型自动滴料器

SKZD-3型自动滴料器

SKCH-1A型数显测厚仪

CXQ-1500型真空冷镶嵌机

MTI-250型加热平台

半自动上蜡机-压片机

电镀机(水槽+电镀机+控制台)

SMD-10数控双脉冲电镀电源

JWYH-3A金丝球焊机


实验室展示: