2019-09-05

微纳电子学系两项IEC国际标准正式发布实施及两项新提案正式立项

        由北京大学微纳电子学系、微米/纳米加工技术国家级重点实验室张威研究员主持的两项国际标准IEC 62047-33《半导体器件与微机电系统器件(第33项):压阻式压力敏感器件》(《Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices-Part 33: MEMS piezoresistive pressure-sensitive device》)和IEC 62047-34《半导体器件与微机电系统器件(第34项):压阻式压力敏感器件的在片测试方法》(《Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices-Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer》)已于201945日正式发布实施。近期,两项关于MEMS惯性冲击开关的国际标准新提案也正式立项,进入审批环节。

已发布的两项IEC国际标准是关于MEMS压阻式压力敏感器件的标准,其中IEC 62047-33规定了压力敏感器件的性能参数、环境试验和疲劳寿命的试验方法,IEC 62047-34规定了压力敏感器件晶圆级性能参数试验方法。

两项标准的发布实施填补了MEMS压阻式压力敏感器件领域国际标准的空白,也标志着北大乃至我国在MEMS技术研究和标准制定方面取得重大突破,进一步提升我国在MEMS标准领域的国际影响力和话语权,同时也有助于推动我国相关MEMS产品走向世界。

国际电工委员会(IEC)成立于1906年,是世界上成立最早的国际性电工标准化机构,负责有关电气工程电子工程领域中的国际标准化工作,IEC国际标准是国际上最权威的电气工程和电子工程领域国际标准。首个由我国机构提案并发布实施的微机电系统领域IEC标准是2016年由北京大学微纳电子学系张大成教授课题组提案的《硅基微电机系统制造技术:微键合区剪切和拉压强度检测方法》(《Silicon based MEMS fabrication technology-Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area》,IEC 62047-25:2016。


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