2021-09-20

张大成教授获2020年度上海市科学技术发明奖一等奖

   根据《上海市科学技术奖励规定》,经评审专家初评、复评、终评和上海市科学技术奖励委员会审定,上海市政府日前公布了2020年度上海市科学技术奖获得者名单。

集成电路学院张大成教授参与的项目“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得2020年度上海市科学技术发明奖一等奖个人排名第3,单位排名第2)。该项目在国家973等项目支持下,针对我国长期存在的MEMS量产、检测和封装难等问题,产学研用结合,发明了系列MEMS芯片单面加工的规模制造关键技术,实现了传感器核心芯片规模制造的底层技术突破,对解决传感器芯片严重受制于人的卡脖子难题,具有显著的战略意义。

扭转式键合强度检测试验机结构电镜照片


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